羅茨真空幫浦的工作原理

羅茨真空泵指裝有兩個沿相反方向同步旋轉的葉片形轉子的可變容量真空幫浦。轉子之間以及轉子與泵浦殼內壁之間均有微小間隙，互不接觸。間隙一般為0.1～0.8毫米；無需油潤滑。轉子輪廓包括圓弧線、漸開線線和擺線。漸開線轉子幫浦的體積利用率高，加工精度容易保證，因此轉子型線多為漸開線型。

工作原理羅茨真空泵與羅茨鼓風機類似。由於轉子的不斷旋轉，被抽氣體從進氣口吸入轉子與泵殼之間的空間v0，然後經由排氣口排出。由於吸入後v0空間完全封閉，因此泵浦室內氣體不存在壓縮或膨脹。但當轉子頂部繞排氣口邊緣旋轉，v0空間與排氣側相連時，由於排氣側氣體壓力較高，部分氣體衝回空間v0，造成氣體壓力突然增加。隨著轉子繼續旋轉，氣體從幫浦排出。